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maskman

木虫 (正式写手)

[求助] 怎样降低ITO导电玻璃表面粗糙度,或者怎样处理表面可以实现EBL刻蚀 已有2人参与

我想在ITO表面旋涂PMMA胶进行EBL刻蚀,但是由于目前的ITO表面粗糙度较大,所以不易进行刻蚀,请问各位有没有前辈尝试过提高表面质量的方法,希望分享一下,不甚感激,若能提供得到表面质量较好的ITO的渠道,也非常感谢
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
maskman: 金币+15, ★★★很有帮助 2014-02-11 08:52:18
要想降低表面粗糙度有几个办法:机械抛光、酸碱出力、等离子处理以及几种方法的组合。可参考文献:
http://www.docin.com/p-174962.html&pageType=previewUser
2楼2014-02-10 17:17:59
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
maskman: 金币+20, ★★★很有帮助 2014-02-11 08:52:49
武汉格奥买的,电阻率比较低的会相对平一点,做过紫外光刻,没问题,电子束刻蚀确实难度大点,不过也做得成,就是形状肯定没有硅片完美了,更好的可以考虑美国delta的,平整度确实更好,而且均匀,不过实在太贵了,我们后来用不起了
3楼2014-02-10 21:47:27
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maskman

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-02-10 17:17:59
要想降低表面粗糙度有几个办法:机械抛光、酸碱出力、等离子处理以及几种方法的组合。可参考文献:
http://www.docin.com/p-174962.html&pageType=previewUser

谢谢你,这资料不错,呵呵
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4楼2014-02-11 08:57:07
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maskman

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-02-10 21:47:27
武汉格奥买的,电阻率比较低的会相对平一点,做过紫外光刻,没问题,电子束刻蚀确实难度大点,不过也做得成,就是形状肯定没有硅片完美了,更好的可以考虑美国delta的,平整度确实更好,而且均匀,不过实在太贵了, ...

您好,麻烦问一下你们买的武汉格奥发热玻璃大概多少钱啊?电子束刻蚀时匀胶多厚可以做?
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5楼2014-02-11 08:59:16
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by maskman at 2014-02-11 08:59:16
您好,麻烦问一下你们买的武汉格奥发热玻璃大概多少钱啊?电子束刻蚀时匀胶多厚可以做?...

发热玻璃,ito么,25厘米方块是50块附近的样子,胶这个我不太清楚,我们是技术员给做的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2014-02-11 10:16:24
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maskman

木虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-02-11 10:16:24
发热玻璃,ito么,25厘米方块是50块附近的样子,胶这个我不太清楚,我们是技术员给做的
...

导电玻璃ITO,刚才写错了,谢谢你!那个价格还是挺贵的,呵呵
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7楼2014-02-11 10:39:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
7楼: Originally posted by maskman at 2014-02-11 10:39:12
导电玻璃ITO,刚才写错了,谢谢你!那个价格还是挺贵的,呵呵...

e...感觉已经算不贵了,跟硅片差不太多哈,美国那个要贵10倍至少
8楼2014-02-11 11:17:45
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dream1376

新虫 (正式写手)

请问ITO玻璃表面粗糙度不大于多少可以做EBL
9楼2015-04-01 14:11:40
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fanggeyuanye

银虫 (初入文坛)

你好,我也在做相关的工作,不知道你现在方便加个QQ交流一下吗?1738273785
努力就是结果
10楼2016-01-05 21:57:53
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