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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 怎样降低ITO导电玻璃表面粗糙度，或者怎样处理表面可以实现EBL刻蚀
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maskman

木虫 (正式写手)

[求助] 怎样降低ITO导电玻璃表面粗糙度，或者怎样处理表面可以实现EBL刻蚀 已有2人参与

我想在ITO表面旋涂PMMA胶进行EBL刻蚀，但是由于目前的ITO表面粗糙度较大，所以不易进行刻蚀，请问各位有没有前辈尝试过提高表面质量的方法，希望分享一下，不甚感激，若能提供得到表面质量较好的ITO的渠道，也非常感谢
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摸索着爬行，自信地奔跑
1楼 2014-02-10 15:21:35
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
maskman: 金币+15, ★★★很有帮助 2014-02-11 08:52:18
要想降低表面粗糙度有几个办法：机械抛光、酸碱出力、等离子处理以及几种方法的组合。可参考文献：
http://www.docin.com/p-174962.html&pageType=previewUser
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2楼2014-02-10 17:17:59
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
maskman: 金币+20, ★★★很有帮助 2014-02-11 08:52:49
武汉格奥买的，电阻率比较低的会相对平一点，做过紫外光刻，没问题，电子束刻蚀确实难度大点，不过也做得成，就是形状肯定没有硅片完美了，更好的可以考虑美国delta的，平整度确实更好，而且均匀，不过实在太贵了，我们后来用不起了
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3楼2014-02-10 21:47:27
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maskman

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-02-10 17:17:59
要想降低表面粗糙度有几个办法：机械抛光、酸碱出力、等离子处理以及几种方法的组合。可参考文献：
http://www.docin.com/p-174962.html&pageType=previewUser

谢谢你，这资料不错，呵呵
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摸索着爬行，自信地奔跑
4楼2014-02-11 08:57:07
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maskman

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-02-10 21:47:27
武汉格奥买的，电阻率比较低的会相对平一点，做过紫外光刻，没问题，电子束刻蚀确实难度大点，不过也做得成，就是形状肯定没有硅片完美了，更好的可以考虑美国delta的，平整度确实更好，而且均匀，不过实在太贵了， ...

您好，麻烦问一下你们买的武汉格奥发热玻璃大概多少钱啊？电子束刻蚀时匀胶多厚可以做？
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5楼2014-02-11 08:59:16
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by maskman at 2014-02-11 08:59:16
您好，麻烦问一下你们买的武汉格奥发热玻璃大概多少钱啊？电子束刻蚀时匀胶多厚可以做？...

发热玻璃，ito么，25厘米方块是50块附近的样子，胶这个我不太清楚，我们是技术员给做的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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6楼2014-02-11 10:16:24
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maskman

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-02-11 10:16:24
发热玻璃，ito么，25厘米方块是50块附近的样子，胶这个我不太清楚，我们是技术员给做的
...

导电玻璃ITO，刚才写错了，谢谢你！那个价格还是挺贵的，呵呵
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7楼2014-02-11 10:39:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
7楼: Originally posted by maskman at 2014-02-11 10:39:12
导电玻璃ITO，刚才写错了，谢谢你！那个价格还是挺贵的，呵呵...

e...感觉已经算不贵了，跟硅片差不太多哈，美国那个要贵10倍至少
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8楼2014-02-11 11:17:45
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dream1376

新虫 (正式写手)
请问ITO玻璃表面粗糙度不大于多少可以做EBL
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9楼2015-04-01 14:11:40
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fanggeyuanye

银虫 (初入文坛)
你好，我也在做相关的工作，不知道你现在方便加个QQ交流一下吗？1738273785
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努力就是结果
10楼2016-01-05 21:57:53
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