24小时热门版块排行榜    

查看: 1731  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

爱你-永远

木虫 (小有名气)

[求助] 怎么把硅片刻蚀掉 已有2人参与

各位大侠   我想在硅片上做一层石墨烯薄膜  ,已经有了水溶性的石墨烯
第一    直接用旋涂可以让石墨烯在硅片上生成吗?
第二    如果可以生成薄膜   怎么把硅片刻蚀掉,用HF可以吗    速度快吗?
第三    如果用二氧化硅薄膜会不会容易一些     如何把二氧化硅片刻蚀掉?
第四    同样大小的硅片和二氧化硅片    哪个比较便宜?
小弟初涉此行   还望多多指导
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

没啥说的
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
爱你-永远: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢 2014-09-20 09:30:32
二氧化硅用BOE1min腐蚀100nm没问题。如果对硅片阻值,厚度,晶向,电学特性没啥要求的当然是硅片便宜啦。
3楼2014-09-18 18:20:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

yvonne_shieh

新虫 (初入文坛)

先用硝酸银溶液浸泡一下,再用氢氟酸腐蚀

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-09-18 17:23:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱你-永远

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lee0803 at 2014-09-18 18:20:47
二氧化硅用BOE1min腐蚀100nm没问题。如果对硅片阻值,厚度,晶向,电学特性没啥要求的当然是硅片便宜啦。

你好  我想问下 ,如果用旋涂,可以把石墨烯水溶液分散到Si片上吗?需要进行什么预处理吗?谢谢
没啥说的
4楼2014-09-18 19:57:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

senpeng

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
各种文献一大把介绍的,很容易刻蚀
5楼2014-09-19 21:42:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见