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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 怎么把硅片刻蚀掉
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爱你-永远

木虫 (小有名气)

[求助] 怎么把硅片刻蚀掉 已有2人参与

各位大侠   我想在硅片上做一层石墨烯薄膜  ，已经有了水溶性的石墨烯
第一    直接用旋涂可以让石墨烯在硅片上生成吗？
第二    如果可以生成薄膜   怎么把硅片刻蚀掉，用HF可以吗    速度快吗？
第三    如果用二氧化硅薄膜会不会容易一些     如何把二氧化硅片刻蚀掉？
第四    同样大小的硅片和二氧化硅片    哪个比较便宜？
小弟初涉此行   还望多多指导
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没啥说的
1楼 2014-09-18 17:08:46
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yvonne_shieh

新虫 (初入文坛)
先用硝酸银溶液浸泡一下，再用氢氟酸腐蚀

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2014-09-18 17:23:31
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
爱你-永远: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢 2014-09-20 09:30:32
二氧化硅用BOE1min腐蚀100nm没问题。如果对硅片阻值，厚度，晶向，电学特性没啥要求的当然是硅片便宜啦。
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3楼2014-09-18 18:20:47
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爱你-永远

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lee0803 at 2014-09-18 18:20:47
二氧化硅用BOE1min腐蚀100nm没问题。如果对硅片阻值，厚度，晶向，电学特性没啥要求的当然是硅片便宜啦。

你好  我想问下 ，如果用旋涂，可以把石墨烯水溶液分散到Si片上吗？需要进行什么预处理吗？谢谢
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没啥说的
4楼2014-09-18 19:57:04
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senpeng

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
各种文献一大把介绍的，很容易刻蚀
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5楼2014-09-19 21:42:25
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1003484648

新虫 (小有名气)
1.硅片和二氧化硅片，当然是二氧化硅片便宜。
2.目的是要做什么，是材料表面处理，在不同基体材料上的刻蚀，再增加新的石墨烯涂层，
3，HF可以使用，控制时间就可以刻蚀，
4，如果使用SiO2,用NaOH就好了、
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6楼2014-09-21 12:56:25
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lee0803

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 爱你-永远 at 2014-09-18 19:57:04
你好  我想问下 ，如果用旋涂，可以把石墨烯水溶液分散到Si片上吗？需要进行什么预处理吗？谢谢...

要做预处理，保证衬底si表面干净。
另外石墨烯的溶液要有一定粘度才行，这样才可以保证旋涂时是以膜面向外扩散。
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7楼2014-09-22 10:21:36
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