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爱你-永远

木虫 (小有名气)

[求助] 怎么把硅片刻蚀掉 已有2人参与

各位大侠   我想在硅片上做一层石墨烯薄膜  ,已经有了水溶性的石墨烯
第一    直接用旋涂可以让石墨烯在硅片上生成吗?
第二    如果可以生成薄膜   怎么把硅片刻蚀掉,用HF可以吗    速度快吗?
第三    如果用二氧化硅薄膜会不会容易一些     如何把二氧化硅片刻蚀掉?
第四    同样大小的硅片和二氧化硅片    哪个比较便宜?
小弟初涉此行   还望多多指导
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没啥说的
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
爱你-永远: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢 2014-09-20 09:30:32
二氧化硅用BOE1min腐蚀100nm没问题。如果对硅片阻值,厚度,晶向,电学特性没啥要求的当然是硅片便宜啦。
3楼2014-09-18 18:20:47
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lee0803

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 爱你-永远 at 2014-09-18 19:57:04
你好  我想问下 ,如果用旋涂,可以把石墨烯水溶液分散到Si片上吗?需要进行什么预处理吗?谢谢...

要做预处理,保证衬底si表面干净。
另外石墨烯的溶液要有一定粘度才行,这样才可以保证旋涂时是以膜面向外扩散。
7楼2014-09-22 10:21:36
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