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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问干法和湿法怎么刻蚀氧化铝？
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

[求助] 请问干法和湿法怎么刻蚀氧化铝？

请问干法和湿法怎么刻蚀氧化铝？

[ Last edited by ciompman on 2012-10-17 at 19:24 ]
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1楼 2012-10-17 15:31:03
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
ciompman: 屏蔽内容, 违规存档, 涉嫌商业信息！ 2012-10-17 19:26:39
ciompman: 应助指数-1 2012-10-17 19:29:11
本帖内容被屏蔽
2楼2012-10-17 17:10:57
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末
顶一下楼上，呵呵
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1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼，而是比你牛逼的人还比你努力！3.If you don't run fast,you will get trampled
3楼2012-10-17 19:21:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Al2O3如果是晶体的话，实际上就是蓝宝石。刻蓝宝石需要专门的ICP设备，普通的RIE和ICP都搞不定。你可以查查LED蓝宝石PSS图形化衬底的制造流程。
如果是ALD这种做出来的high K材料，也是需要特殊的刻蚀机。
湿法的化，一般是用磷酸。

干法如果你找不到地方刻，我知道个实验室有机器，你站内短信我好了。
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4楼2012-10-17 23:31:28
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bugry

金虫 (小有名气)

科研搬砖狗
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-17 23:31:28
Al2O3如果是晶体的话，实际上就是蓝宝石。刻蓝宝石需要专门的ICP设备，普通的RIE和ICP都搞不定。你可以查查LED蓝宝石PSS图形化衬底的制造流程。
如果是ALD这种做出来的high K材料，也是需要特殊的刻蚀机。
湿法的 ...

求刻蚀蓝宝石衬底设备的联系方式
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没有对错，只有努力与否
5楼2013-11-04 14:30:50
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by bugry at 2013-11-04 14:30:50
求刻蚀蓝宝石衬底设备的联系方式...

你是要加工还是要购买？
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6楼2013-11-04 23:12:42
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bugry

金虫 (小有名气)

科研搬砖狗
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-04 23:12:42
你是要加工还是要购买？...

加工
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没有对错，只有努力与否
7楼2013-11-05 15:42:47
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by bugry at 2013-11-05 15:42:47
加工

苏州纳米所加工平台
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8楼2013-11-07 12:03:35
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哼哼哈嘿啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by bugry at 2013-11-04 14:30:50
求刻蚀蓝宝石衬底设备的联系方式...

可以找北方微（NMC),设备购买和加工都可以
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9楼2015-11-02 10:17:08
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