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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


[求助] 请问干法和湿法怎么刻蚀氧化铝?

请问干法和湿法怎么刻蚀氧化铝?

[ Last edited by ciompman on 2012-10-17 at 19:24 ]
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Al2O3如果是晶体的话,实际上就是蓝宝石。刻蓝宝石需要专门的ICP设备,普通的RIE和ICP都搞不定。你可以查查LED蓝宝石PSS图形化衬底的制造流程。
如果是ALD这种做出来的high K材料,也是需要特殊的刻蚀机。
湿法的化,一般是用磷酸。

干法如果你找不到地方刻,我知道个实验室有机器,你站内短信我好了。
4楼2012-10-17 23:31:28
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exciting1973

禁虫 (正式写手)

感谢参与,应助指数 +1
ciompman: 屏蔽内容, 违规存档, 涉嫌商业信息! 2012-10-17 19:26:39
ciompman: 应助指数-1 2012-10-17 19:29:11
本帖内容被屏蔽

2楼2012-10-17 17:10:57
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末

顶一下楼上,呵呵
1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼,而是比你牛逼的人还比你努力!3.If you don't run fast,you will get trampled
3楼2012-10-17 19:21:05
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bugry

金虫 (小有名气)

科研搬砖狗

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-17 23:31:28
Al2O3如果是晶体的话,实际上就是蓝宝石。刻蓝宝石需要专门的ICP设备,普通的RIE和ICP都搞不定。你可以查查LED蓝宝石PSS图形化衬底的制造流程。
如果是ALD这种做出来的high K材料,也是需要特殊的刻蚀机。
湿法的 ...

求刻蚀蓝宝石衬底设备的联系方式
没有对错,只有努力与否
5楼2013-11-04 14:30:50
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