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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 在小槽里刻蚀硅片冒气泡阻止反应能有什么方法除气泡吗
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xctdyl1992

新虫 (初入文坛)

[求助] 在小槽里刻蚀硅片冒气泡阻止反应能有什么方法除气泡吗 已有4人参与

各位大神，我想在内直径只有3.4厘米的聚四氟乙烯槽中金属辅助刻蚀硅片（实验需要），但由于反应产生大量气泡聚集在硅片上方阻止了反应。所以在很长的反应过程中需要时不时用滴管向槽中吸液吹液，非常麻烦。能不能用其他方法或者自制什么装置可以实现自动去除气泡呢？求助啊，一整天对着HF很伤啊，而且反应过程不好控制~各位拜托了，帮忙想个办法！！
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1楼 2014-09-02 21:38:07
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
改成HF气体刻蚀？就是比较危险
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2楼2014-09-03 09:53:03
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
★
感谢参与，应助指数 +1
xctdyl1992: 金币+1, ★有帮助, o 2014-09-05 16:05:48
本帖内容被屏蔽
3楼2014-09-03 13:46:56
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xctdyl1992

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2014-09-03 13:46:56
搞个摇床或者振荡器吧…………

振荡器实验室有，不知道效果怎么样，怕被腐蚀~主要是那个槽很小啊。。。不管怎样。O(∩_∩)O谢谢
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4楼2014-09-05 16:05:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by xctdyl1992 at 2014-09-05 16:05:52
振荡器实验室有，不知道效果怎么样，怕被腐蚀~主要是那个槽很小啊。。。不管怎样。O(∩_∩)O谢谢...

最简单的办法是搅拌。
还有就是添加消泡剂，但要确认是否污染自己的片子。
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5楼2014-09-06 00:42:03
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

加超声就可以了。
为什么要金属辅助蚀刻硅片？
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6楼2014-09-17 12:16:38
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zlb8168

新虫 (初入文坛)
中联邦消泡剂有一款B-8140消泡剂可以解决硅片气泡的问题哦！
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7楼2017-12-21 12:02:04
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