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xctdyl1992

新虫 (初入文坛)

[求助] 在小槽里刻蚀硅片冒气泡阻止反应能有什么方法除气泡吗 已有4人参与

各位大神,我想在内直径只有3.4厘米的聚四氟乙烯槽中金属辅助刻蚀硅片(实验需要),但由于反应产生大量气泡聚集在硅片上方阻止了反应。所以在很长的反应过程中需要时不时用滴管向槽中吸液吹液,非常麻烦。能不能用其他方法或者自制什么装置可以实现自动去除气泡呢?求助啊,一整天对着HF很伤啊,而且反应过程不好控制~各位拜托了,帮忙想个办法!!
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)


感谢参与,应助指数 +1
xctdyl1992: 金币+1, 有帮助, o 2014-09-05 16:05:48
本帖内容被屏蔽

3楼2014-09-03 13:46:56
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查看全部 7 个回答

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
改成HF气体刻蚀?就是比较危险
2楼2014-09-03 09:53:03
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xctdyl1992

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2014-09-03 13:46:56
搞个摇床或者振荡器吧…………

振荡器实验室有,不知道效果怎么样,怕被腐蚀~主要是那个槽很小啊。。。不管怎样。O(∩_∩)O谢谢
4楼2014-09-05 16:05:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by xctdyl1992 at 2014-09-05 16:05:52
振荡器实验室有,不知道效果怎么样,怕被腐蚀~主要是那个槽很小啊。。。不管怎样。O(∩_∩)O谢谢...

最简单的办法是搅拌。
还有就是添加消泡剂,但要确认是否污染自己的片子。
5楼2014-09-06 00:42:03
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