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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 通过磁控溅射沉积的Al2O3薄膜，会和盐酸反应吗？
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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] 通过磁控溅射沉积的Al2O3薄膜，会和盐酸反应吗？ 已有2人参与

大家好！请问通过磁控溅射沉积的Al2O3薄膜，会和盐酸反应吗？会不会因为晶型较好不反应，或反应不彻底。
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1楼 2014-09-06 12:45:04
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以刻蚀，一般用磷酸
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5楼2014-09-08 14:50:49
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我觉得应该会反应，但是感觉刻氧化铝会用盐酸么。。。
赞一下 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
2楼2014-09-07 00:49:18
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木星人士

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-09-07 00:49:18
我觉得应该会反应，但是感觉刻氧化铝会用盐酸么。。。

只是想用盐酸把氧化铝中心部分刻蚀掉
赞一下 回复此楼
3楼2014-09-07 15:43:02
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 木星人士 at 2014-09-07 00:43:02
只是想用盐酸把氧化铝中心部分刻蚀掉...

你做一个小的样品试试看呗
赞一下 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
4楼2014-09-08 12:37:23
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查看全部 6 个回答
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