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1楼 2014-08-18 14:21:56

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yswyx

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4楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-19 09:24:19
你好，我已经通过增加曝光剂量和显影时间得到很好的样了。谢谢...

这么薄的胶要这么长曝光时间！！
不是你的胶有问题，就是你的光刻机有问题。你的光刻机的光强是多少？

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5楼2014-08-19 18:51:59

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exciting73

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是同时在有SiO2氧化层的硅片和没有SiO2氧化层的硅片上做的实验吗？如果显影不彻底很可能是曝光剂量不足。
啥时候买的胶啊

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2楼2014-08-18 16:32:32

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静静一yi

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4楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-19 09:24:19
你好，我已经通过增加曝光剂量和显影时间得到很好的样了。谢谢...

恭喜楼主~

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15501697107

6楼2014-08-20 19:27:47

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