应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于Al和Cu的粘附性
71/1返回列表
查看: 1243  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

我是一笼包子

金虫 (正式写手)

[交流] 关于Al和Cu的粘附性

大家好，今天我用电子束长了5nm的Ti，然后在上面用磁控长了一半的Cu，另一半用电子束蒸发长了Al，后来我超声了一下后Al基本掉光了，大家有没有这样的情况啊？
但是由于我刚开始的时候Cu和Al层有重叠部分，也就是下面是Ti和Cu的那部分Al没有掉，粘附性很好，大家实验的时候有没有这样的情况，Al在Cu上粘附性很好的？


PS：因为我后面要光刻，去胶得用超声。

尽情交流，我今天花了整整一天，本来想一天把实验做完，之后好测试和分析，没想到遇到这样的问题，现在在掉了的Al上长Ti和Cu，看看效果，不知道大家有没有类似的经验？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-08-14 19:57:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖置顶 ( 共有2个 )

zhangquan8385

荣誉版主 (文坛精英)
★
我是一笼包子(金币+1): 谢谢参与
按这个说应该是铜铝结合好，钛铝结合经不起超声。不做这块，能否考虑以铜为基，钛铝各一半。
赞一下 回复此楼
6楼2012-08-15 10:19:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我是一笼包子

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zhangquan8385 at 2012-08-15 10:19:38
按这个说应该是铜铝结合好，钛铝结合经不起超声。不做这块，能否考虑以铜为基，钛铝各一半。

哦，我今天又试了一下在硅片上长Al，好像超声没事，现在做出来的是5nmTi，10nmCu，100nmAl，等后面长好了再一起试试超声吧 感谢交流
赞一下 回复此楼
7楼2012-08-15 21:29:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

daisy143

至尊木虫 (职业作家)
★
我是一笼包子(金币+1): 谢谢参与
帮顶
回复此楼
4楼2012-08-15 08:30:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

scarecrow143

至尊木虫 (著名写手)
★
我是一笼包子(金币+1): 谢谢参与
帮顶
回复此楼
5楼2012-08-15 09:02:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
goingabroad2楼
2012-08-14 20:30   回复  
我是一笼包子(金币+1): 谢谢参与
lidx02693楼
2012-08-14 23:13   回复  
我是一笼包子(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 我是一笼包子 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭