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[交流]
关于Al和Cu的粘附性
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大家好，今天我用电子束长了5nm的Ti，然后在上面用磁控长了一半的Cu，另一半用电子束蒸发长了Al，后来我超声了一下后Al基本掉光了，大家有没有这样的情况啊？ 但是由于我刚开始的时候Cu和Al层有重叠部分，也就是下面是Ti和Cu的那部分Al没有掉，粘附性很好，大家实验的时候有没有这样的情况，Al在Cu上粘附性很好的？ PS：因为我后面要光刻，去胶得用超声。 尽情交流，我今天花了整整一天，本来想一天把实验做完，之后好测试和分析，没想到遇到这样的问题，现在在掉了的Al上长Ti和Cu，看看效果，不知道大家有没有类似的经验？ |
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6楼2012-08-15 10:19:38
7楼2012-08-15 21:29:41
4楼2012-08-15 08:30:16
5楼2012-08-15 09:02:19
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2012-08-14 20:30
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lidx02693楼
2012-08-14 23:13
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