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我是一笼包子

金虫 (正式写手)


[交流] 关于Al和Cu的粘附性

大家好,今天我用电子束长了5nm的Ti,然后在上面用磁控长了一半的Cu,另一半用电子束蒸发长了Al,后来我超声了一下后Al基本掉光了,大家有没有这样的情况啊?
但是由于我刚开始的时候Cu和Al层有重叠部分,也就是下面是Ti和Cu的那部分Al没有掉,粘附性很好,大家实验的时候有没有这样的情况,Al在Cu上粘附性很好的?


PS:因为我后面要光刻,去胶得用超声。

尽情交流,我今天花了整整一天,本来想一天把实验做完,之后好测试和分析,没想到遇到这样的问题,现在在掉了的Al上长Ti和Cu,看看效果,不知道大家有没有类似的经验?
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)


引用回帖:
6楼: Originally posted by zhangquan8385 at 2012-08-15 10:19:38
按这个说应该是铜铝结合好,钛铝结合经不起超声。不做这块,能否考虑以铜为基,钛铝各一半。

哦,我今天又试了一下在硅片上长Al,好像超声没事,现在做出来的是5nmTi,10nmCu,100nmAl,等后面长好了再一起试试超声吧 感谢交流
7楼2012-08-15 21:29:41
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我是一笼包子(金币+1): 谢谢参与
按这个说应该是铜铝结合好,钛铝结合经不起超声。不做这块,能否考虑以铜为基,钛铝各一半。
6楼2012-08-15 10:19:38
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