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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » 光刻胶 脏污 问题求助
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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lianlian1437

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 光刻胶 脏污 问题求助

万能的虫虫啊，不知道可否有做过PR的？或者类似于做过溶液配制方面的？
    我的产品是自己配置的，现在一直纠结的问题是，产品表面旋涂后光阻厚度情况在2um左右，表面可以看到一些小颗粒（大小都有，比较集中在高度10um左右，颗粒半半径现在集中在0.1-0.5un，），采用多种方式还是没法去掉。
实际工业上希望使用，所以这些颗粒都希望没有，有用PTFE 滤芯过滤。

    希望有经验的人来给点指点啊！万分感谢！

@yswyx
@stoyahao
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1楼 2013-06-28 11:50:32
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lianlian1437: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-07-01 13:24:04
从两个方面来分析：
1。颗粒来源是什么？没有完全溶解还是感光凝聚（找到源头再做调整）？2.过滤器的精度是多少（可以用Falcon的0.1或0.05um）？
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2楼2013-06-28 16:21:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lianlian1437: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-07-01 13:23:51
你配的溶剂都是啥溶剂？什么等级的？颗粒的尺寸和含量都是多少？
配胶的原料如果本身不是超净的，MOS或者UL以上级别的，那么就需要自己做过滤的。

私信给我吧，我一直和国内外的光刻胶厂有合作，看看能不能解决你的问题。
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3楼2013-06-29 00:23:24
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lianlian1437

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by damuchongzi at 2013-06-28 16:21:56
从两个方面来分析：
1。颗粒来源是什么？没有完全溶解还是感光凝聚（找到源头再做调整）？2.过滤器的精度是多少（可以用Falcon的0.1或0.05um）？

有打过成分，是树脂的成分，然后有看文献，说确实以前都存在这个问题，就是两种成分在一起就是会有这种情况，可能是感光剂的后聚集。精度用到0.2了，一般工业用就是这个精度~
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4楼2013-07-01 13:26:49
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lianlian1437

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-06-29 00:23:24
你配的溶剂都是啥溶剂？什么等级的？颗粒的尺寸和含量都是多少？
配胶的原料如果本身不是超净的，MOS或者UL以上级别的，那么就需要自己做过滤的。

私信给我吧，我一直和国内外的光刻胶厂有合作，看看能不能解决 ...

对于原料的等级，我确实没有很好地考虑，谢谢提醒哦！
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5楼2013-07-01 13:34:13
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水飘零

金虫 (著名写手)

金陵家族之潜水人士
LZ，你的树脂原料和感光剂的金属残留达到标准了么，还有选择的溶剂是不是超纯的，另外，如果是国内的原料，不同批次可能存在质量不稳定！
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花自飘零水自流，一种相思，两处闲愁；此情无计可消除，才下眉头，却上心头
6楼2013-08-16 09:30:45
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welljay

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

貌似是曝光了吧，你避光配的吗，光刻胶一旦见光就没法在改变了哎
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7楼2013-08-16 12:10:10
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lianlian1437

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 水飘零 at 2013-08-16 09:30:45
LZ，你的树脂原料和感光剂的金属残留达到标准了么，还有选择的溶剂是不是超纯的，另外，如果是国内的原料，不同批次可能存在质量不稳定！

嗯，现在是溶剂国产，其他外购。说是金属离子含量能达到，但实际也还要我们再确认就是了。除了这两个因素，你还有推荐什么不？

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8楼2013-08-16 12:31:10
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limeiyu53

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你是哪个单位？你过滤方法不对
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9楼2013-08-16 18:04:15
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

从源头解决问题或者过滤吧
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10楼2013-08-16 19:01:01
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