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lianlian1437至尊木虫 (著名写手)
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光刻胶 脏污 问题求助
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万能的虫虫啊，不知道可否有做过PR的？或者类似于做过溶液配制方面的？ 我的产品是自己配置的，现在一直纠结的问题是，产品表面旋涂后光阻厚度情况在2um左右，表面可以看到一些小颗粒（大小都有，比较集中在高度10um左右，颗粒半半径现在集中在0.1-0.5un，），采用多种方式还是没法去掉。 实际工业上希望使用，所以这些颗粒都希望没有，有用PTFE 滤芯过滤。 希望有经验的人来给点指点啊！万分感谢！ @yswyx @stoyahao |
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damuchongzi
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2楼2013-06-28 16:21:56
yswyx 
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3楼2013-06-29 00:23:24
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