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lianlian1437

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 光刻胶 脏污 问题求助

万能的虫虫啊,不知道可否有做过PR的?或者类似于做过溶液配制方面的?
    我的产品是自己配置的,现在一直纠结的问题是,产品表面旋涂后光阻厚度情况在2um左右,表面可以看到一些小颗粒(大小都有,比较集中在高度10um左右,颗粒半半径现在集中在0.1-0.5un,),采用多种方式还是没法去掉。
实际工业上希望使用,所以这些颗粒都希望没有,有用PTFE 滤芯过滤。

    希望有经验的人来给点指点啊!万分感谢!

@yswyx
@stoyahao
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lianlian1437

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-06-29 00:23:24
你配的溶剂都是啥溶剂?什么等级的?颗粒的尺寸和含量都是多少?
配胶的原料如果本身不是超净的,MOS或者UL以上级别的,那么就需要自己做过滤的。

私信给我吧,我一直和国内外的光刻胶厂有合作,看看能不能解决 ...

对于原料的等级,我确实没有很好地考虑,谢谢提醒哦!
5楼2013-07-01 13:34:13
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lianlian1437: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-07-01 13:24:04
从两个方面来分析:
1。颗粒来源是什么?没有完全溶解还是感光凝聚(找到源头再做调整)?2.过滤器的精度是多少(可以用Falcon的0.1或0.05um)?
2楼2013-06-28 16:21:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lianlian1437: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-07-01 13:23:51
你配的溶剂都是啥溶剂?什么等级的?颗粒的尺寸和含量都是多少?
配胶的原料如果本身不是超净的,MOS或者UL以上级别的,那么就需要自己做过滤的。

私信给我吧,我一直和国内外的光刻胶厂有合作,看看能不能解决你的问题。
3楼2013-06-29 00:23:24
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lianlian1437

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by damuchongzi at 2013-06-28 16:21:56
从两个方面来分析:
1。颗粒来源是什么?没有完全溶解还是感光凝聚(找到源头再做调整)?2.过滤器的精度是多少(可以用Falcon的0.1或0.05um)?

有打过成分,是树脂的成分,然后有看文献,说确实以前都存在这个问题,就是两种成分在一起就是会有这种情况,可能是感光剂的后聚集。精度用到0.2了,一般工业用就是这个精度~
4楼2013-07-01 13:26:49
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