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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 交流磁控溅射靶材表面结瘤与溅射频率关系
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fuyadong01

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1楼 2014-07-17 12:04:14
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niu.bi

木虫 (文坛精英)
★
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
深深祝福
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6楼2014-07-17 12:22:25
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wendy3

金虫 (文坛精英)
★
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
深深祝福
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7楼2014-07-17 12:22:43
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b729

金虫 (文坛精英)
★
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
愿楼主心想事成
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8楼2014-07-17 12:23:29
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heibi

金虫 (文坛精英)
★
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
深深祝福
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13楼2014-07-17 12:25:38
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不能分别升高和降低频率后各再次溅射一下，对比一下结果后不就明确正确方向了吗？
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22楼2014-07-17 13:24:15
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
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23楼2014-07-17 16:55:42
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feishangjia

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人以为是磁场设置的问题，导致靶材回溅
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24楼2014-07-23 15:21:35
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
25楼2014-07-24 13:13:46
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feishangjia

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
25楼: Originally posted by fuyadong01 at 2014-07-24 13:13:46
逆溅射是有的
磁场的存在是为了提高溅射效率，跟它关系不大，怀疑是频率问题。...

磁场当然是需要的，磁控溅射嘛，但是磁场设置不好，磁场分布不均匀就会导致回溅射严重。其实回溅是不可避免的，要尽可能的少发生，同时避免回溅物脱落造成Arcing， 短路或者Particle 过多。
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26楼2014-07-28 11:47:47
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xiaoa122

禁虫 (初入文坛)
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27楼2014-08-06 16:31:19
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简单回复
lyy4122楼
2014-07-17 12:20  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
哈密瓜哈密瓜3楼
2014-07-17 12:21  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
552364楼
2014-07-17 12:22  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
pzx10045楼
2014-07-17 12:22  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
祝福 [ 发自小木虫客户端 ]
zhangru1949楼
2014-07-17 12:24  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
zhuaiping010楼
2014-07-17 12:24  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
祝福
sueyi198811楼
2014-07-17 12:24  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
shunxia00212楼
2014-07-17 12:25  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
liurunfa14楼
2014-07-17 12:25  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
祝福
zhouchangq15楼
2014-07-17 12:26  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
yangchengg16楼
2014-07-17 12:30  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
suyuzone17楼
2014-07-17 12:31  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
dmbb18楼
2014-07-17 12:32  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
liuyiweieres19楼
2014-07-17 12:32  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
linhao102020楼
2014-07-17 12:38  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
niuniucath21楼
2014-07-17 12:38  
fuyadong01(金币+1): 谢谢参与
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