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北溟之鱼金虫 (小有名气)
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纳米柱刻蚀缺陷如何消除
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1. 在GaN/InGaN LED上,用FIB刻蚀形成直径200纳米、高800纳米的纳米柱,采用微区PL测试发现,做结构的区域几乎不发光,是不是由于刻蚀缺陷的存在? 采用什么方法能有效清除掉刻蚀缺陷 2. 直径200纳米、高800纳米的GaN/InGaN 多量子阱纳米柱,采用超声波清洗时,会不会把这些纳米柱给震断了 请懂的朋友帮忙讲一下。 |
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