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北溟之鱼

金虫 (小有名气)

[求助] 纳米柱刻蚀缺陷如何消除

1. 在GaN/InGaN  LED上，用FIB刻蚀形成直径200纳米、高800纳米的纳米柱，采用微区PL测试发现，做结构的区域几乎不发光，是不是由于刻蚀缺陷的存在？
采用什么方法能有效清除掉刻蚀缺陷
2. 直径200纳米、高800纳米的GaN/InGaN  多量子阱纳米柱，采用超声波清洗时，会不会把这些纳米柱给震断了

请懂的朋友帮忙讲一下。
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1楼 2014-06-17 17:05:18
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