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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应？
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lzg919530615

金虫 (正式写手)

[求助] 进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应？ 已有7人参与

进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应呢？谢谢！
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1楼 2014-05-21 15:46:18
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以不腐蚀SiO2，但无法不腐蚀SnO2。
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2楼2014-05-21 21:57:39
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邪恶的大肉丸

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ITO=铟锡氧化物，看楼主的意思是要选择性的刻蚀掉铟氧化物，而保留锡氧化物嘛？
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3楼2014-05-22 07:35:46
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dianbo118

木虫 (小有名气)
铟锡氧化物是掺杂滴，要去除肯定一起没了亲
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4楼2014-05-22 11:07:00
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
http://www.zh-kv.com/Kaivo/TechView.asp?ID=22&SortID=20
腐蚀液的主要成分是一种王水（HCl+HNO3混合液），ITO主要成分In2O3：SnO2=9:1的固溶体，In2O3与SiO2、SnO2相比，化学稳定性要差很多，所以可以保证腐蚀液在腐蚀ITO时，不会腐蚀玻璃的SiO2阻挡层。
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5楼2014-05-22 11:07:04
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ogsttt

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我们用的是HCL和H2O2的混合液，具体比例要看厂家，直接找蚀刻药水就行了。
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6楼2014-05-22 17:17:18
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dxldxl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我有直接刻蚀的药水，你需要不？？？？
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感谢这些年的每天生活阅历！
7楼2014-05-22 17:34:07
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
但是下面是sno啊，和sio是混合的还是叠层的？
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8楼2014-05-23 08:34:01
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ITO本身就有Sn的氧化物，这个很难做到吧，刻蚀ITO，HCl都可以的，
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我~心~依~旧
9楼2014-05-24 15:31:20
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lzg919530615

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by babyoflion at 2014-05-23 08:34:01
但是下面是sno啊，和sio是混合的还是叠层的？

混合的，有办法吗
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10楼2014-05-27 15:02:14
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