| 查看: 3031 | 回复: 12 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
lzg919530615金虫 (正式写手)
|
[求助]
进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应？ 已有7人参与
|
||||
| 进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应呢？谢谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 导电物 |
» 猜你喜欢
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有102人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5065
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1216
- 在线: 434小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
http://www.zh-kv.com/Kaivo/TechView.asp?ID=22&SortID=20 腐蚀液的主要成分是一种王水（HCl+HNO3混合液），ITO主要成分In2O3：SnO2=9:1的固溶体，In2O3与SiO2、SnO2相比，化学稳定性要差很多，所以可以保证腐蚀液在腐蚀ITO时，不会腐蚀玻璃的SiO2阻挡层。 |
5楼2014-05-22 11:07:04
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2014-05-21 21:57:39
邪恶的大肉丸
金虫 (著名写手)
- 应助: 76 (初中生)
- 金币: 1039.3
- 散金: 306
- 红花: 13
- 帖子: 1222
- 在线: 278.2小时
- 虫号: 2490147
- 注册: 2013-05-31
- 性别: GG
- 专业: 环境分析化学
3楼2014-05-22 07:35:46
dianbo118
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1696.2
- 散金: 207
- 红花: 1
- 帖子: 149
- 在线: 108.3小时
- 虫号: 729655
- 注册: 2009-03-24
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
铟锡氧化物是掺杂滴，要去除肯定一起没了亲 4楼2014-05-22 11:07:00
