| 查看: 2805 | 回复: 12 | ||||
lzg919530615金虫 (正式写手)
|
[求助]
进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应？已有7人参与
|
| 进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应呢？谢谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 导电物 |
» 猜你喜欢
求K3V3(PO4)4材料的XRD标准图谱
已经有0人回复
-
求Na4MnV(PO4)3材料的XRD标准图谱
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有67人回复
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2014-05-21 21:57:39
邪恶的大肉丸
金虫 (著名写手)
- 应助: 76 (初中生)
- 金币: 1039.3
- 散金: 306
- 红花: 13
- 帖子: 1222
- 在线: 278.2小时
- 虫号: 2490147
- 注册: 2013-05-31
- 性别: GG
- 专业: 环境分析化学
3楼2014-05-22 07:35:46
dianbo118
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1696.2
- 散金: 207
- 红花: 1
- 帖子: 149
- 在线: 108.3小时
- 虫号: 729655
- 注册: 2009-03-24
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
铟锡氧化物是掺杂滴，要去除肯定一起没了亲4楼2014-05-22 11:07:00
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5065
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1216
- 在线: 434小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
http://www.zh-kv.com/Kaivo/TechView.asp?ID=22&SortID=20 腐蚀液的主要成分是一种王水（HCl+HNO3混合液），ITO主要成分In2O3：SnO2=9:1的固溶体，In2O3与SiO2、SnO2相比，化学稳定性要差很多，所以可以保证腐蚀液在腐蚀ITO时，不会腐蚀玻璃的SiO2阻挡层。 |
5楼2014-05-22 11:07:04
6楼2014-05-22 17:17:18
7楼2014-05-22 17:34:07
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4721.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2496
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
8楼2014-05-23 08:34:01
yuan999
专家顾问 (知名作家)
-
专家经验: +355 - MN-EPI: 1
- 应助: 1293 (讲师)
- 贵宾: 0.247
- 金币: 21553.6
- 散金: 98
- 红花: 19
- 帖子: 6247
- 在线: 617.6小时
- 虫号: 591578
- 注册: 2008-09-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
- 管辖: 微米和纳米
9楼2014-05-24 15:31:20
lzg919530615
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 776.3
- 散金: 7
- 红花: 2
- 帖子: 647
- 在线: 40.1小时
- 虫号: 1790226
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
10楼2014-05-27 15:02:14