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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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lzg919530615

金虫 (正式写手)

[求助] 进行光刻之后的刻蚀,有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO,而不跟SiO2、SnO2反应? 已有7人参与

进行光刻之后的刻蚀,有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO,而不跟SiO2、SnO2反应呢?谢谢!
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ogsttt

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我们用的是HCL和H2O2的混合液,具体比例要看厂家,直接找蚀刻药水就行了。
6楼2014-05-22 17:17:18
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以不腐蚀SiO2,但无法不腐蚀SnO2。
2楼2014-05-21 21:57:39
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邪恶的大肉丸

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
ITO=铟锡氧化物,看楼主的意思是要选择性的刻蚀掉铟氧化物,而保留锡氧化物嘛?
3楼2014-05-22 07:35:46
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dianbo118

木虫 (小有名气)

铟锡氧化物是掺杂滴,要去除肯定一起没了亲
4楼2014-05-22 11:07:00
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