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磁控溅射靶材制备方法
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磁控溅射靶材制备方法
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由于实验需要 现在需要自己制备磁控溅射靶材,需要制作的是石墨靶,然后自己在网上查询了一下,据了解石墨粉原材料是通过球磨的方法制成的,不知道在这个过程中球磨的转速,球磨的时间具体有什么要求!请指导。
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1楼
2014-05-29 17:05:16
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:
Originally posted by
刺客yl
at 2014-06-05 11:10:31
先买一块然后用电镜去看看粒度 啥的,然后自己摸索制作工艺
好的 谢谢
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8楼
2014-06-06 08:52:04
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转速和球磨时间应该是跟我们需要的石墨粉体的粒径大小有关的吧?
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2楼
2014-05-29 17:06:34
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wbcui
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为啥不买一个呢?
貌似也不贵啊
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3楼
2014-06-01 23:07:09
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3楼
:
Originally posted by
wbcui
at 2014-06-01 23:07:09
为啥不买一个呢?
貌似也不贵啊
我们现在主要是要自己摸索,我们想要弄清楚在什么比例下效果最佳,具体的比例我们也不清楚,需要试验不同比例的情况。所以自己做可能效率高一点,您知道具体的制靶方法吗?谢谢
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4楼
2014-06-03 09:30:01
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