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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 磁控溅射靶材制备方法
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痴心绝对

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材制备方法已有1人参与

由于实验需要 现在需要自己制备磁控溅射靶材，需要制作的是石墨靶，然后自己在网上查询了一下，据了解石墨粉原材料是通过球磨的方法制成的，不知道在这个过程中球磨的转速，球磨的时间具体有什么要求！请指导。
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1楼2014-05-29 17:05:16
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痴心绝对

铁虫 (小有名气)
转速和球磨时间应该是跟我们需要的石墨粉体的粒径大小有关的吧？
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2楼2014-05-29 17:06:34
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痴心绝对

铁虫 (小有名气)
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3楼: Originally posted by wbcui at 2014-06-01 23:07:09
为啥不买一个呢？
貌似也不贵啊

我们现在主要是要自己摸索，我们想要弄清楚在什么比例下效果最佳，具体的比例我们也不清楚，需要试验不同比例的情况。所以自己做可能效率高一点，您知道具体的制靶方法吗？谢谢
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4楼2014-06-03 09:30:01
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痴心绝对

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wbcui at 2014-06-03 10:48:45
买个石墨块，机加工一个靶材，还可以保证没有太多杂质...

好的    关键是球磨这一步骤 不好掌握   因为球磨的时间 还有转速  一般设置多少？
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6楼2014-06-04 16:37:51
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痴心绝对

铁虫 (小有名气)
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7楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-06-05 11:10:31
先买一块然后用电镜去看看粒度 啥的，然后自己摸索制作工艺

好的  谢谢
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8楼2014-06-06 08:52:04
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痴心绝对

铁虫 (小有名气)
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9楼: Originally posted by tmq1988 at 2014-06-06 14:44:02
我建议还是去买吧
厂家专业生产的质量有保证，稳定性也好
而且自己做的成本应该会比买的高。
你可以与商家沟通，看能不能买一系列的。
有很多家做石墨靶的...

恩恩 谢谢
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10楼2014-06-07 22:06:00
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痴心绝对

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by tmq1988 at 2014-06-06 14:44:02
我建议还是去买吧
厂家专业生产的质量有保证，稳定性也好
而且自己做的成本应该会比买的高。
你可以与商家沟通，看能不能买一系列的。
有很多家做石墨靶的...

我们现在 这边有压片机  就是缺模具   买个模具基本上就可以做了，最关键的粒度问题，可以按照您说的去做个电镜
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11楼2014-06-07 22:08:14
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