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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？
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yipaishi

银虫 (小有名气)

[交流] 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？

本人不是材料专业，急需查询相关知识，望知者相告。
我调研文献，发现溅射（sputtering）的分类比较混乱，中文论文的用词也相当混乱。目前查询的结果是：射频溅射、直流溅射、磁控溅射、离子束溅射、反应溅射还有些叫法，是它们的混合称谓，如射频磁控溅射法。有的分类可能还互相有重合。所以，有没有基础扎实者给一个较为权威的解释。
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1楼 2014-04-16 22:38:33
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04010126

铁杆木虫 (知名作家)
★
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
帮顶
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7楼2014-04-16 23:08:26
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xiaochong8693

木虫之王 (文坛精英)
★
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主
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13楼2014-04-16 23:29:23
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mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)
★
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blessing
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18楼2014-04-17 04:02:42
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mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)
★
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
blessing
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19楼2014-04-17 04:07:58
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刺客yl

铁虫 (正式写手)
磁控溅射包括：射频溅射、直流溅射、交流溅射三种。这不是混合称谓，而是总分关系。
此外大种类还有：激光脉冲沉积、化学气相沉积、分子束外延、离子束溅射等等。他们的名称，基本就是”产生微粒的方法+生长方式“命名的。
你提到的反应溅射，应该算是化学气相沉积。通过气相化学反应，产生目标化合物等，沉积到基底表面，形成薄膜。
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22楼2014-04-17 09:26:56
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射天之狼

新虫 (初入文坛)
等高手回答！
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23楼2014-04-17 10:02:01
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梁永喜2楼
2014-04-16 22:40   回复  
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wangkj3楼
2014-04-16 22:50   回复  
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h
kiss200855374楼
2014-04-16 22:58   回复  
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6
yaoyao1455楼
2014-04-16 23:06   回复  
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雪人哥哥6楼
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Nescafe20148楼
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44363829楼
2014-04-16 23:10   回复  
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snowbridge10楼
2014-04-16 23:12   回复  
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91088397411楼
2014-04-16 23:21   回复  
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syhorchid12楼
2014-04-16 23:27   回复  
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tzynew14楼
2014-04-16 23:33   回复  
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peterflyer15楼
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afu2008200816楼
2014-04-17 00:00   回复  
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1327883058017楼
2014-04-17 01:07   回复  
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yahuhaha20楼
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唐tjg21楼
2014-04-17 08:44   回复  
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