| 查看: 1441 | 回复: 22 | |||
[交流]
请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？
|
|||
|
本人不是材料专业，急需查询相关知识，望知者相告。 我调研文献，发现溅射（sputtering）的分类比较混乱，中文论文的用词也相当混乱。目前查询的结果是：射频溅射、直流溅射、磁控溅射、离子束溅射、反应溅射还有些叫法，是它们的混合称谓，如射频磁控溅射法。有的分类可能还互相有重合。所以，有没有基础扎实者给一个较为权威的解释。 |
回复此楼» 猜你喜欢
北京航空航天大学航空发动机研究院2026年暑期学校通知
已经有2人回复
-
Progress in Materials Science 期刊投稿求助
已经有2人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有54人回复
-
职称论文投稿
已经有12人回复
-
【征稿通知】2027 IPPTC 国际石油石化技术会议征稿启动
已经有0人回复
-
Crystals特刊诚邀投稿
已经有0人回复
-
求博导推荐
已经有1人回复
-
中科院东莞材料所依托中科大招收2027届推免生
已经有20人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教柔性基底上制备PVDF 复合薄膜
已经有3人回复
- 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！
已经有6人回复
- 求助，有没有孔径为2um左右的薄膜。。。
已经有7人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 【学术交流】 磁控溅射——应用领域交流
已经有16人回复
- 【请教】陶瓷块压制时出现开裂
已经有41人回复
7楼2014-04-16 23:08:26
13楼2014-04-16 23:29:23
18楼2014-04-17 04:02:42
19楼2014-04-17 04:07:58
22楼2014-04-17 09:26:56
23楼2014-04-17 10:02:01
简单回复
梁永喜2楼
2014-04-16 22:40
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
wangkj3楼
2014-04-16 22:50
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
h
2014-04-16 22:58
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
6
2014-04-16 23:06
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
雪人哥哥6楼
2014-04-16 23:07
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
2014-04-16 23:10
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
44363829楼
2014-04-16 23:10
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
snowbridge10楼
2014-04-16 23:12
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
91088397411楼
2014-04-16 23:21
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
syhorchid12楼
2014-04-16 23:27
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
tzynew14楼
2014-04-16 23:33
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
peterflyer15楼
2014-04-16 23:55
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
afu2008200816楼
2014-04-17 00:00
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
1327883058017楼
2014-04-17 01:07
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
yahuhaha20楼
2014-04-17 06:20
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
唐tjg21楼
2014-04-17 08:44
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
20