| 查看: 1320 | 回复: 22 | |||
[交流]
请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？
|
|||
|
本人不是材料专业，急需查询相关知识，望知者相告。 我调研文献，发现溅射（sputtering）的分类比较混乱，中文论文的用词也相当混乱。目前查询的结果是：射频溅射、直流溅射、磁控溅射、离子束溅射、反应溅射还有些叫法，是它们的混合称谓，如射频磁控溅射法。有的分类可能还互相有重合。所以，有没有基础扎实者给一个较为权威的解释。 |
回复此楼» 猜你喜欢
聚氨酯
已经有5人回复
-
319分085702安全工程求调剂
已经有6人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有214人回复
-
2026北京科技大学材料学硕士调剂名额一个（海优团队，同步辐射表征+AI方向）
已经有1人回复
-
单轴拉伸国标
已经有1人回复
-
应用科学学院力学专业，可专硕调学硕，欢迎一志愿机械、材料、土木等考生填报
已经有1人回复
-
太原科技大学应用科学学院力学专业 接收力学/机械/材料等专业考生跨专业调剂
已经有2人回复
-
北京理工大学于兴华教授团队招收博士研究生 2026年9月入学
已经有11人回复
-
TC4钛合金激光焊接金相组织分析
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教柔性基底上制备PVDF 复合薄膜
已经有3人回复
- 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！
已经有6人回复
- 求助，有没有孔径为2um左右的薄膜。。。
已经有7人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 【学术交流】 磁控溅射——应用领域交流
已经有16人回复
- 【请教】陶瓷块压制时出现开裂
已经有41人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
东南大学废弃碳资源利用团队（杰青/海优团队）博士后、科研助理及27级博士生招募
+1/133
-
中科大 冯伟 课题组招生-机器人界面控制、电学机械界面设计
+1/84
-
山东征女友，坐标济南
+1/80
-
半导体缺陷计算模拟方向诚招博士后-CSRC
+1/75
-
精细结构常数α=1/137的素数起源：论文投稿审核历程（A202604-1381）
+1/75
-
从137到p₃₃：精细结构常数的素数起源—86年未解之谜
+1/75
-
北京-89175-事业单位-诚征女友
+1/64
-
南京邮电大学李巍教授招收2026博士生（5月12日前有效）
+1/35
-
南京邮电大学李巍教授招收2026博士生（5月12日前有效）
+1/33
-
智合健物课题组2026年博士生招生(5月6日—2026年5月13日)
+1/31
-
坐标北京，83年男征女友
+1/29
-
海南大学药学院黄玲教授2026招收药理（神经药理）方向博士生一名
+1/27
-
港科大广州 - 量子计算全奖PhD招生
+1/15
-
申请账号解封
+1/10
-
南京理工大学徐勃团队招收2026年9月份入学博士生（有机/纳米光电材料合成方向）
+1/8
-
招收2026年秋季入学博士生1名（河北工业大学/北京科技大学联合 增材制造/生物材料）
+1/5
-
招收2026年秋季入学博士生1名（河北工业大学/北京科技大学联合 增材制造/生物材料）
+1/5
-
双一流高校南林化学工程学院-国家级青年人才团队招2026级博士（最后一波）
+1/5
-
我用DeepSeek和豆包写了三个月论文，最后发现真正好用的不是它们
+1/3
-
2026年宁夏大学材料与新能源学院王海龙教授团队博士招生
+1/2
7楼2014-04-16 23:08:26
13楼2014-04-16 23:29:23
18楼2014-04-17 04:02:42
19楼2014-04-17 04:07:58
22楼2014-04-17 09:26:56
23楼2014-04-17 10:02:01
简单回复
梁永喜2楼
2014-04-16 22:40
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
wangkj3楼
2014-04-16 22:50
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
h
2014-04-16 22:58
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
6
2014-04-16 23:06
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
雪人哥哥6楼
2014-04-16 23:07
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
2014-04-16 23:10
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
44363829楼
2014-04-16 23:10
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
snowbridge10楼
2014-04-16 23:12
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
91088397411楼
2014-04-16 23:21
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
syhorchid12楼
2014-04-16 23:27
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
tzynew14楼
2014-04-16 23:33
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
peterflyer15楼
2014-04-16 23:55
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
afu2008200816楼
2014-04-17 00:00
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
1327883058017楼
2014-04-17 01:07
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
yahuhaha20楼
2014-04-17 06:20
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
唐tjg21楼
2014-04-17 08:44
回复
yipaishi(金币+1): 谢谢参与