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[交流]
请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？
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本人不是材料专业，急需查询相关知识，望知者相告。 我调研文献，发现溅射（sputtering）的分类比较混乱，中文论文的用词也相当混乱。目前查询的结果是：射频溅射、直流溅射、磁控溅射、离子束溅射、反应溅射还有些叫法，是它们的混合称谓，如射频磁控溅射法。有的分类可能还互相有重合。所以，有没有基础扎实者给一个较为权威的解释。 |
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wangkj3楼
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2014-04-16 23:10
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！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
snowbridge10楼
2014-04-16 23:12
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