应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？
21/1返回列表
查看: 1185  |  回复: 22
查看全部回帖@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

yipaishi

银虫 (小有名气)

[交流] 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？

本人不是材料专业，急需查询相关知识，望知者相告。
我调研文献，发现溅射（sputtering）的分类比较混乱，中文论文的用词也相当混乱。目前查询的结果是：射频溅射、直流溅射、磁控溅射、离子束溅射、反应溅射还有些叫法，是它们的混合称谓，如射频磁控溅射法。有的分类可能还互相有重合。所以，有没有基础扎实者给一个较为权威的解释。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼2014-04-16 22:38:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yipaishi 的主题更新
21/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭