应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！
71/1返回列表
查看: 1344  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

toowowo

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！ 已有2人参与

磁控溅射做掺杂，把掺杂物混在靶材里溅射，由于做出来的薄膜里掺杂量为0.015%“原子数比”，xps都测不出来。所以特来请教什么测试手段可以解决我的问题。薄膜衬底为石英，薄膜导电性能不好，薄膜厚度为0.3微米左右，无法剥落，请教了！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-03-20 00:23:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gao901127

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是可以提高掺杂浓度。用xps检测。以此类推，可知道低浓度也能掺杂进去？个人意见

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2014-03-20 08:18:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjian2010

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
XPS 应该是精度最高的吧，但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行，含量太低了。我同意楼上的，设计一个梯度比，增大含量勇EDX 表征，证明你的方法控制含量比较精确。
赞一下 回复此楼
3楼2014-03-20 15:55:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

toowowo

铜虫 (正式写手)
低浓度掺杂和高浓度掺杂表现出了不同的性质，正好是低浓度的掺杂是我们所希望的，所以那样依次类推不太合适吧？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2014-03-21 12:05:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)
本帖仅楼主可见
赞一下
5楼2014-03-31 17:41:48
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

刺客yl

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xjian2010 at 2014-03-20 15:55:31
XPS 应该是精度最高的吧，但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行，含量太低了。我同意楼上的，设计一个梯度比，增大含量勇EDX 表征，证明你的方法控制含量比较精确。

XPS测的是键能吧？然后推断物质组成。如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键，那就很难测出来吧？
赞一下 回复此楼
6楼2014-04-01 14:56:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-04-01 14:56:01
XPS测的是键能吧？然后推断物质组成。如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键，那就很难测出来吧？...

恩，如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键，的确很难测出来
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2014-04-01 21:14:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 toowowo 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 294求调剂材料与化工专硕 +7 陌の森林 2026-03-18 7/350 2026-03-19 10:10 by 功夫疯狂
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +10 SUICHILD 2026-03-12 10/500 2026-03-19 09:51 by Delta2012
[基金申请] 国自科面上基金字体 +7 iwuli 2026-03-12 8/400 2026-03-19 08:55 by sjtu2012
[考研] 271材料工程求调剂 +5 .6lL 2026-03-18 5/250 2026-03-19 03:07 by 无懈可击111
[考研] 354求调剂 +4 Tyoumou 2026-03-18 7/350 2026-03-18 21:45 by Tyoumou
[考研] 295求调剂 +3 一志愿京区211 2026-03-18 5/250 2026-03-18 17:03 by zhaoqian0518
[考研] 085600材料与化工 +5 安全上岸！ 2026-03-16 5/250 2026-03-18 15:33 by cmz0325
[考研] 311求调剂 +6 26研0 2026-03-15 6/300 2026-03-18 14:43 by haxia
[考研] 268求调剂 +8 一定有学上- 2026-03-14 9/450 2026-03-17 17:47 by laoshidan
[考研] 085600材料与化工求调剂 +5 绪幸与子 2026-03-17 5/250 2026-03-17 16:40 by laoshidan
[考博] 26申博 +4 八6八68 2026-03-16 4/200 2026-03-17 13:00 by 轻松不少随
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家，不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] 0856材料与化工301求调剂 +5 奕束光 2026-03-13 5/250 2026-03-13 22:00 by 星空星月
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 土木第一志愿276求调剂，科研和技能十分丰富，求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭