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toowowo铜虫 (正式写手)
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[求助]
磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！ 已有2人参与
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磁控溅射做掺杂，把掺杂物混在靶材里溅射，由于做出来的薄膜里掺杂量为0.015%“原子数比”，xps都测不出来。所以特来请教什么测试手段可以解决我的问题。薄膜衬底为石英，薄膜导电性能不好，薄膜厚度为0.3微米左右，无法剥落，请教了！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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 磁控溅射靶材资料大全 | PVD镀膜类技术资料 |
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toowowo
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7楼2014-04-01 21:14:09
