应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？
231/1返回列表
查看: 1488  |  回复: 22
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

yipaishi

银虫 (小有名气)

[交流] 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？

本人不是材料专业，急需查询相关知识，望知者相告。
我调研文献，发现溅射（sputtering）的分类比较混乱，中文论文的用词也相当混乱。目前查询的结果是：射频溅射、直流溅射、磁控溅射、离子束溅射、反应溅射还有些叫法，是它们的混合称谓，如射频磁控溅射法。有的分类可能还互相有重合。所以，有没有基础扎实者给一个较为权威的解释。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2014-04-16 22:38:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

04010126

铁杆木虫 (知名作家)
★
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
帮顶
回复此楼
7楼2014-04-16 23:08:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaochong8693

木虫之王 (文坛精英)
★
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主
回复此楼
13楼2014-04-16 23:29:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)
★
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
blessing
回复此楼
18楼2014-04-17 04:02:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)
★
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
blessing
回复此楼
19楼2014-04-17 04:07:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

刺客yl

铁虫 (正式写手)
磁控溅射包括：射频溅射、直流溅射、交流溅射三种。这不是混合称谓，而是总分关系。
此外大种类还有：激光脉冲沉积、化学气相沉积、分子束外延、离子束溅射等等。他们的名称，基本就是”产生微粒的方法+生长方式“命名的。
你提到的反应溅射，应该算是化学气相沉积。通过气相化学反应，产生目标化合物等，沉积到基底表面，形成薄膜。
赞一下 回复此楼
22楼2014-04-17 09:26:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

射天之狼

新虫 (初入文坛)
等高手回答！
回复此楼
23楼2014-04-17 10:02:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
梁永喜2楼
2014-04-16 22:40   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
wangkj3楼
2014-04-16 22:50   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
h
kiss200855374楼
2014-04-16 22:58   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
6
yaoyao1455楼
2014-04-16 23:06   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
雪人哥哥6楼
2014-04-16 23:07   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
Nescafe20148楼
2014-04-16 23:10   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
44363829楼
2014-04-16 23:10   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
snowbridge10楼
2014-04-16 23:12   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
91088397411楼
2014-04-16 23:21   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
syhorchid12楼
2014-04-16 23:27   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
tzynew14楼
2014-04-16 23:33   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
peterflyer15楼
2014-04-16 23:55   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
afu2008200816楼
2014-04-17 00:00   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
1327883058017楼
2014-04-17 01:07   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
yahuhaha20楼
2014-04-17 06:20   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
唐tjg21楼
2014-04-17 08:44   回复  
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 yipaishi 的主题更新
231/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭