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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？
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yipaishi

银虫 (小有名气)

[交流] 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？

本人不是材料专业，急需查询相关知识，望知者相告。
我调研文献，发现溅射（sputtering）的分类比较混乱，中文论文的用词也相当混乱。目前查询的结果是：射频溅射、直流溅射、磁控溅射、离子束溅射、反应溅射还有些叫法，是它们的混合称谓，如射频磁控溅射法。有的分类可能还互相有重合。所以，有没有基础扎实者给一个较为权威的解释。
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1楼2014-04-16 22:38:33
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mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)
★
yipaishi(金币+1): 谢谢参与
blessing
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19楼2014-04-17 04:07:58
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