24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

yipaishi

银虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 226.1
帖子: 128
在线: 151.3小时
虫号: 672178

[交流] 请教，PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类？

本人不是材料专业，急需查询相关知识，望知者相告。
我调研文献，发现溅射（sputtering）的分类比较混乱，中文论文的用词也相当混乱。目前查询的结果是：射频溅射、直流溅射、磁控溅射、离子束溅射、反应溅射还有些叫法，是它们的混合称谓，如射频磁控溅射法。有的分类可能还互相有重合。所以，有没有基础扎实者给一个较为权威的解释。

回复此楼

» 猜你喜欢

深地科学与能源资源开采方向课题组预录取2026年度博士生1名已经有1人回复
macromolecules投稿已经有0人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有182人回复
您好，请问热重TGA原始文件ngb-dt6用什么软件可以打开导出数据？已经有0人回复
关于授权的相关合作已经有0人回复
中国地质大学（武汉）地质资源与地质工程学科招收硕士已经有0人回复
《中国海上油气》期刊已经有4人回复
退役光伏组件回收处置风险评估报告已经有0人回复
武汉大学国家高层次青年人才课题组/院士团队岩土工程/矿业方向招2026年博士生已经有0人回复
电缆铠装缆芯扭转问题已经有2人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

请教柔性基底上制备PVDF 复合薄膜已经有3人回复
磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！已经有6人回复
求助，有没有孔径为2um左右的薄膜。。。已经有7人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
【学术交流】磁控溅射——应用领域交流已经有16人回复
【请教】陶瓷块压制时出现开裂已经有41人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2014-04-16 22:38:33

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

刺客yl

铁虫 (正式写手)

应助: 70 (初中生)
金币: 493.8
帖子: 320
在线: 76.3小时
虫号: 3092993

磁控溅射包括：射频溅射、直流溅射、交流溅射三种。这不是混合称谓，而是总分关系。
此外大种类还有：激光脉冲沉积、化学气相沉积、分子束外延、离子束溅射等等。他们的名称，基本就是”产生微粒的方法+生长方式“命名的。
你提到的反应溅射，应该算是化学气相沉积。通过气相化学反应，产生目标化合物等，沉积到基底表面，形成薄膜。