应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » cigs溅射问题
51/1返回列表
查看: 666  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

kilong2628

新虫 (初入文坛)

[求助] cigs溅射问题 已有3人参与

在做cigs溅射时，为什承载玻璃的架子会时不时的出现拉弧打火现象？打火过程中电源就是反射功率会上升，但是辉光并未变化！请问是什么无原因啊？求大神指教！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-05-23 15:19:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hangky

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

尖端放电现象，主要因为架子上镀了东西，建议定期清理样品架以及靶面，另外，不要在玻璃衬底上附着有机物，那个同样会引起打火。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2014-06-10 11:23:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

nstzqf

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

属于打弧，尖端放电了，检查一下靶材或者支架上是否有异物
赞一下 回复此楼
2楼2014-06-03 17:04:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SimonYang88

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼上两位说得很对，Arcing还有另外一个因素导致，靶材杂质含量太高或者靶材密度不够靶材内部缺陷过多都会导致溅射过程中靶材表面凹凸不平，进而引起放电异常

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-07-10 08:28:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭