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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » CIGS薄膜硒化的问题
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chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] CIGS薄膜硒化的问题

我在镀Mo的玻璃上采用磁控溅射预置层CIG然后用固体硒源硒化，但是发现硒化后薄膜表面有一些小针孔，对光看可以看到光透过来了，而且肯定是贯穿了Mo层的孔，如果硒化温度高一点会发现出现的孔就会增大，很是费解，请高人指点！
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1楼 2012-05-31 15:55:46
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ly02468

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-01 07:35:42
chicktj: 金币+1 2012-06-05 22:42:18
这是很正常的。当两面唯独不一样的时候，一定会出现你这种情况。在不就是，温度过高，出现的就是，松散的，要么就是不平均，参差不齐，
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把简单的事情做好了,就是成功！
2楼2012-05-31 23:17:26
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chenguang5895

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-03 09:46:59
chicktj: 金币+3 2012-06-05 22:42:32
我觉得这个问题是出在Mo的上面。1. CIGS的pinhole是很难用肉眼看到的。我曾经用显微镜2000倍都看不到，但是用SEM就很容易看到的。
2. 既然透光，那就是Mo的问题。如果Mo没有做好，不仅仅是selenization，就是高温也能使其peel-off。
想解决好这个问题，第一要保证glass cleaning 的非常好，第二，Mo的sputtering要优化的。
CIGS是个贵族的东西，一层做不好，整个device都不会work的。
good luck
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3楼2012-06-02 21:48:42
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kylj1984

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
chicktj: 金币+1 2012-06-05 22:42:46
产生透光的可能性很多。这个情况我遇到过。按照你说的情况很可能是基片清洗没有做好，导致钼的附着力较差。
你是怎么清洁基片的？
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4楼2012-06-04 15:18:17
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chicktj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by kylj1984 at 2012-06-04 15:18:17
产生透光的可能性很多。这个情况我遇到过。按照你说的情况很可能是基片清洗没有做好，导致钼的附着力较差。
你是怎么清洁基片的？

我先用洗衣粉之类的洗涤剂超声 然后用NaOH超声 然后无水乙醇冲。请问有没有什么好的建议
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5楼2012-06-05 22:45:30
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friendlies

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by chicktj at 2012-06-05 22:45:30
我先用洗衣粉之类的洗涤剂超声 然后用NaOH超声 然后无水乙醇冲。请问有没有什么好的建议...

用浓HNO3+浓HCl超声洗涤几分钟再用乙醇超声振荡，效果还不错
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6楼2014-11-26 16:58:21
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