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CIGS薄膜硒化的问题
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| 我在镀Mo的玻璃上采用磁控溅射预置层CIG然后用固体硒源硒化，但是发现硒化后薄膜表面有一些小针孔，对光看可以看到光透过来了，而且肯定是贯穿了Mo层的孔，如果硒化温度高一点会发现出现的孔就会增大，很是费解，请高人指点！ |
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 半导体薄膜制备及表征 |
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ly02468
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chenguang5895
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
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chicktj: 金币+3 2012-06-05 22:42:32
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chicktj: 金币+3 2012-06-05 22:42:32
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我觉得这个问题是出在Mo的上面。1. CIGS的pinhole是很难用肉眼看到的。我曾经用显微镜2000倍都看不到，但是用SEM就很容易看到的。 2. 既然透光，那就是Mo的问题。如果Mo没有做好，不仅仅是selenization，就是高温也能使其peel-off。 想解决好这个问题，第一要保证glass cleaning 的非常好，第二，Mo的sputtering要优化的。 CIGS是个贵族的东西，一层做不好，整个device都不会work的。 good luck |
3楼2012-06-02 21:48:42
4楼2012-06-04 15:18:17
5楼2012-06-05 22:45:30
6楼2014-11-26 16:58:21