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chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] CIGS薄膜硒化的问题

我在镀Mo的玻璃上采用磁控溅射预置层CIG然后用固体硒源硒化,但是发现硒化后薄膜表面有一些小针孔,对光看可以看到光透过来了,而且肯定是贯穿了Mo层的孔,如果硒化温度高一点会发现出现的孔就会增大,很是费解,请高人指点!
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kylj1984

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


chicktj: 金币+1 2012-06-05 22:42:46
产生透光的可能性很多。这个情况我遇到过。按照你说的情况很可能是基片清洗没有做好,导致钼的附着力较差。
你是怎么清洁基片的?
4楼2012-06-04 15:18:17
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