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[求助]
CIGS薄膜硒化的问题
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| 我在镀Mo的玻璃上采用磁控溅射预置层CIG然后用固体硒源硒化,但是发现硒化后薄膜表面有一些小针孔,对光看可以看到光透过来了,而且肯定是贯穿了Mo层的孔,如果硒化温度高一点会发现出现的孔就会增大,很是费解,请高人指点! |
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半导体薄膜制备及表征 |
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4楼2012-06-04 15:18:17







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