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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » cigs溅射问题
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kilong2628

新虫 (初入文坛)

[求助] cigs溅射问题 已有3人参与

在做cigs溅射时，为什承载玻璃的架子会时不时的出现拉弧打火现象？打火过程中电源就是反射功率会上升，但是辉光并未变化！请问是什么无原因啊？求大神指教！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2014-05-23 15:19:01
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nstzqf

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

属于打弧，尖端放电了，检查一下靶材或者支架上是否有异物
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2楼2014-06-03 17:04:27
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hangky

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

尖端放电现象，主要因为架子上镀了东西，建议定期清理样品架以及靶面，另外，不要在玻璃衬底上附着有机物，那个同样会引起打火。
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3楼2014-06-10 11:23:40
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SimonYang88

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼上两位说得很对，Arcing还有另外一个因素导致，靶材杂质含量太高或者靶材密度不够靶材内部缺陷过多都会导致溅射过程中靶材表面凹凸不平，进而引起放电异常

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-07-10 08:28:52
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feishangjia

银虫 (小有名气)
赞同4楼说法
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最大的敌人是自己
5楼2014-09-22 15:34:05
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