应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 质量控制与检验 » 直流磁控溅射制备DLC，靶功率源的电压一直飙升，请问大神们是什么原因？
51/1返回列表
查看: 2247  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

138dong

金虫 (正式写手)

[求助] 直流磁控溅射制备DLC，靶功率源的电压一直飙升，请问大神们是什么原因？ 已有1人参与

用直流磁控溅射石墨靶制备DLC，外加离子源辅助，现在遇到的问就是靶功率源那里，调节电流为0.2A不变，电压刚开始就偏高，为500V，20Min后变为720V，半小时后电压竟然为840V了。通入的气体是氩气，前期放电不稳定，后期较稳定（蓝光），请问大神们电压飙升是什么原因？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
书上有路勤为径
1楼 2014-04-09 13:50:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

449836384

新虫 (初入文坛)
你观察下成膜过程中气压有波动么？
赞一下 回复此楼
5楼2015-09-15 14:43:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 欢迎新虫常来材料工程版发帖交流~ 2014-04-11 10:57:11
314977903: 金币+1, 感谢参与应助讨论 2014-04-11 10:57:33
腔室里的游离C原子增多，C在Ar等离子体撞击时候，形成相反电性离子，与Ar等离子体运动方向相反，增加系统阻抗，恒流源的话，功率不变，电阻增加，那么电压必然升高。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2014-04-09 15:17:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

138dong

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-04-09 15:17:07
腔室里的游离C原子增多，C在Ar等离子体撞击时候，形成相反电性离子，与Ar等离子体运动方向相反，增加系统阻抗，恒流源的话，功率不变，电阻增加，那么电压必然升高。

有没有办法可以解决这个问题呢？我买的石墨靶上面有很多裂纹，而且相对比较疏松，不知有没有影响。
赞一下 回复此楼
书上有路勤为径
3楼2014-04-09 21:48:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

刺客yl

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 138dong at 2014-04-09 21:48:20
有没有办法可以解决这个问题呢？我买的石墨靶上面有很多裂纹，而且相对比较疏松，不知有没有影响。...

像C这种单质，直流溅射基本都会出现前后速率或者功率因数的改变。如果靶材在上部，基片在下部，可以试试射频或者交流
赞一下 回复此楼
4楼2014-04-10 08:55:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂 +8 妮妮ninicgb 2026-03-15 12/600 2026-03-19 05:55 by anny19840123
[考研] 一志愿天大材料与化工（085600）总分338 +4 蔡大美女 2026-03-13 4/200 2026-03-18 22:47 by walc
[考研] 354求调剂 +4 Tyoumou 2026-03-18 7/350 2026-03-18 21:45 by Tyoumou
[考研] 08工科 320总分 求调剂 +5 梨花珞晚风 2026-03-17 5/250 2026-03-18 14:49 by haxia
[考研] 070300化学319求调剂 +6 锦鲤0909 2026-03-17 6/300 2026-03-18 13:22 by Iveryant
[考研] 268求调剂 +6 简单点0 2026-03-17 6/300 2026-03-18 09:04 by 无际的草原
[考研] 考研求调剂 +3 橘颂. 2026-03-17 4/200 2026-03-17 21:43 by 有只狸奴
[考研] 268求调剂 +7 好运连绵不绝 2026-03-12 8/400 2026-03-17 20:28 by xilongliang
[考研] 301求调剂 +4 A_JiXing 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:32 by ruiyingmiao
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:12 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿苏州大学材料工程（085601）专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +6 大火山小火山 2026-03-16 8/400 2026-03-17 15:05 by 无懈可击111
[考研] 302求调剂 +4 小贾同学123 2026-03-15 8/400 2026-03-17 10:33 by 小贾同学123
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +6 RuitingC 2026-03-12 6/300 2026-03-16 14:50 by 可淡不可忘
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂！ +3 不想理你 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:18 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭