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138dong金虫 (正式写手)
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直流磁控溅射制备DLC，靶功率源的电压一直飙升，请问大神们是什么原因？ 已有1人参与
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| 用直流磁控溅射石墨靶制备DLC，外加离子源辅助，现在遇到的问就是靶功率源那里，调节电流为0.2A不变，电压刚开始就偏高，为500V，20Min后变为720V，半小时后电压竟然为840V了。通入的气体是氩气，前期放电不稳定，后期较稳定（蓝光），请问大神们电压飙升是什么原因？ |
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2楼2014-04-09 15:17:07
138dong
金虫 (正式写手)
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