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1582024795

至尊木虫 (知名作家)

[交流] 【求助】请问,在磁控溅射中用离子源将氮气离化需要什么样的条件?例如氮气的压强是多少 已有3人参与

请问,在磁控溅射中用离子源将氮气离化需要什么样的条件?例如氮气的压强是多少?谢谢!
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ying1791

木虫 (著名写手)

虫mm

具体仪器可能要具体分析了,朋友也是做这个的,她挺头疼的,应为调整太花时间了
我正在努力做好自己!
2楼2010-04-27 21:05:00
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1582024795

至尊木虫 (知名作家)

★ ★
化学小工(金币+2):鼓励交流 2010-04-28 21:39
我的仪器是沈阳科友的,03,04年买的.氮气的进气口在离子源那里,反应室挺大的,圆柱型的直径半米多,快一米
3楼2010-04-27 22:04:18
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huang83zhi

木虫 (小有名气)

请问楼主,离子源离化是不是仅用在直流溅射?
射频溅射会靶中毒吗?
4楼2010-04-28 11:43:51
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1582024795

至尊木虫 (知名作家)

不是,交流也可以用。后一个问题没看懂
5楼2010-04-28 21:00:53
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