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elitekiller

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助射频磁控溅射氧化镁的方法 已有1人参与

最近想镀氧化镁的薄膜,但是溅射到硅片在sem下什么也看不见!我的溅射功率是250w,氧和氩气的比是20比80(sccm),压强是0.7pa

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elitekiller

新虫 (初入文坛)

ps:用的是氧化镁靶

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-03-08 23:46:09
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
镁容易氧化,为什么不用镁,氧化镁是陶瓷,陶瓷溅射效率低
3楼2014-03-09 05:11:13
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elitekiller

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by quanten at 2014-03-09 05:11:13
镁容易氧化,为什么不用镁,氧化镁是陶瓷,陶瓷溅射效率低

只有陶瓷靶,如果溅射上去是什么样的,需要退火吗?

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2014-03-09 09:31:48
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