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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射法镀合金会不会出现合金分布不均匀的现象？
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si_yanmao

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射法镀合金会不会出现合金分布不均匀的现象？ 已有4人参与

如题，最近突然想起这个问题，但是好像都没有这方面的问题……
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磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

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1楼 2014-02-10 14:07:38
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si_yanmao

铁虫 (初入文坛)
没有人吗？自己顶一下吧…………
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2楼2014-02-10 14:23:50
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
有可能，但是不严重
最多是靶材成分和薄膜成分不一致而已
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3楼2014-02-10 20:12:21
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
si_yanmao: 金币+1 2014-02-28 16:06:03
是哪种溅射,如果你基底是旋转的话,基本不会出现这种情况
出现分布不均匀的话就和你溅射电源稳定有关，气压还有基底运动有关。
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4楼2014-02-10 20:48:09
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
si_yanmao: 金币+1 2014-02-28 16:06:18
若溅射工艺不当，完全可能出现合金分布不均匀的现象。并且薄膜成分与靶材成分有差异。
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5楼2014-02-10 23:40:58
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si_yanmao

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-02-10 20:48:09
是哪种溅射,如果你基底是旋转的话,基本不会出现这种情况
出现分布不均匀的话就和你溅射电源稳定有关，气压还有基底运动有关。

基底是固定的，没有测过镀出来的薄膜是否不均匀，只是在看退火工艺的时候看到均匀性退火，想到是否镀完膜以后加一道均匀性退火工艺…………
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6楼2014-02-11 08:00:27
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个还是很有可能的
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7楼2014-02-11 10:44:50
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
si_yanmao: 金币+3, ★有帮助 2014-02-28 16:05:22
你的问题我能看出两层意思
第一，成膜后元素分布是否均匀。
合金靶材，镀膜时substrate旋转，基本上元素分布是均匀的。EPMA可验证。
第二，成膜后，薄膜内元素比例是否与合金靶材相同。
不一定，每种元素溅射阈值不同，所以……
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8楼2014-02-19 09:37:27
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gaowei701

银虫 (初入文坛)
合金靶材旋转镀膜时，基片成膜一般是比较均匀的，但膜层成分不同。直接静态镀膜，和磁场有关系，很多是不均匀的。
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9楼2014-05-23 13:10:37
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