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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射法镀合金会不会出现合金分布不均匀的现象？
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si_yanmao

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射法镀合金会不会出现合金分布不均匀的现象？ 已有4人参与

如题，最近突然想起这个问题，但是好像都没有这方面的问题……
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1楼 2014-02-10 14:07:38
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
si_yanmao: 金币+1 2014-02-28 16:06:03
是哪种溅射,如果你基底是旋转的话,基本不会出现这种情况
出现分布不均匀的话就和你溅射电源稳定有关，气压还有基底运动有关。
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4楼2014-02-10 20:48:09
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