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磁控溅射法镀合金会不会出现合金分布不均匀的现象?
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si_yanmao
铁虫
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磁控溅射法镀合金会不会出现合金分布不均匀的现象?
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如题,最近突然想起这个问题,但是好像都没有这方面的问题……
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1楼
2014-02-10 14:07:38
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peterflyer
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peterflyer
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si_yanmao: 金币+1
2014-02-28 16:06:18
若溅射工艺不当,完全可能出现合金分布不均匀的现象。并且薄膜成分与靶材成分有差异。
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5楼
2014-02-10 23:40:58
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si_yanmao
铁虫
(初入文坛)
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(幼儿园)
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虫号: 2204128
注册: 2012-12-24
专业: 光学
没有人吗?自己顶一下吧…………
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2楼
2014-02-10 14:23:50
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wbcui
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专业: 金属功能材料
有可能,但是不严重
最多是靶材成分和薄膜成分不一致而已
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3楼
2014-02-10 20:12:21
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si_yanmao: 金币+1
2014-02-28 16:06:03
是哪种溅射,如果你基底是旋转的话,基本不会出现这种情况
出现分布不均匀的话就和你溅射电源稳定有关,气压还有基底运动有关。
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4楼
2014-02-10 20:48:09
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