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si_yanmao

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射法镀合金会不会出现合金分布不均匀的现象? 已有4人参与

如题,最近突然想起这个问题,但是好像都没有这方面的问题……
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gaowei701

银虫 (初入文坛)

合金靶材旋转镀膜时,基片成膜一般是比较均匀的,但膜层成分不同。直接静态镀膜,和磁场有关系,很多是不均匀的。
9楼2014-05-23 13:10:37
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si_yanmao

铁虫 (初入文坛)

没有人吗?自己顶一下吧…………
2楼2014-02-10 14:23:50
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

有可能,但是不严重
最多是靶材成分和薄膜成分不一致而已
3楼2014-02-10 20:12:21
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
si_yanmao: 金币+1 2014-02-28 16:06:03
是哪种溅射,如果你基底是旋转的话,基本不会出现这种情况
出现分布不均匀的话就和你溅射电源稳定有关,气压还有基底运动有关。
4楼2014-02-10 20:48:09
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