| 查看: 1030 | 回复: 3 | ||
xxk追梦人新虫 (初入文坛)
|
[求助]
射频磁控溅射过程中给基片加偏压 已有2人参与
|
| 各位大神， 请问在利用射频磁控溅射镀膜过程中打算在基片上加偏压，一般加过少合适呢？ |
回复此楼» 猜你喜欢
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
磁控溅射偏压增大电流为零了怎么回事
已经有6人回复
- 在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？
已经有7人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
已经有11人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
2楼2014-01-08 12:19:29
xxk追梦人
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 460
- 散金: 5
- 帖子: 7
- 在线: 3.8小时
- 虫号: 2250752
- 注册: 2013-01-20
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2014-01-08 22:30:20
4楼2014-03-26 10:22:00
