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tonylei1990

银虫 (初入文坛)

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[交流] 磁控溅射起辉功率与溅射功率有没有什么必要的联系？

我溅射PTFE，起辉功率很高，但是我用的溅射功率很低，结果不是很明显，也用过大功率，也没有成功。所以想和大家交流下，溅射时的起辉功率是否对溅射功率影响？

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1楼 2013-12-12 15:36:44

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