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磁控溅射起辉功率与溅射功率有没有什么必要的联系?
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tonylei1990
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[交流]
磁控溅射起辉功率与溅射功率有没有什么必要的联系?
我溅射PTFE,起辉功率很高,但是我用的溅射功率很低,结果不是很明显,也用过大功率,也没有成功。所以想和大家交流下,溅射时的起辉功率是否对溅射功率影响?
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2013-12-12 15:36:44
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