| 查看: 1650 | 回复: 7 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
磁控溅射设备在溅射时压缩空气突然停止导致的故障 已有2人参与
|
|||
| 我在溅射铜时压缩空气突然停止，但是设备没有报警，后来发现真空增加到几百帕才停止了设备。后来设备真空抽不下去，出现了漏气。拆开阴极后发现靶材的压条已经融化粘接在了一起，阴极靶的密封橡皮圈已经被烧焦了，所以导致了漏气。请问，为什么压缩空气停止后会产生如此高温，导致不锈钢的压条都融化了？是不是出现弧光放电？腔室中弧光放电产生的条件是什么？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 猜你喜欢
国家双一流建设高校——2026南京林业大学化学工程学院招收申请考核博士生1名
已经有0人回复
-
想读985的博 没有地域要求 求推荐 求收留 一作SCI×4
已经有1人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有208人回复
-
法国斯特拉斯堡大学招CSC攻读博士-超分子化学、高分子科学和有机化学合成背景
已经有0人回复
-
色粉析出问题
已经有2人回复
-
有机硅改性硅油
已经有20人回复
-
我想问一下做工业上合成水性聚氨酯是不是都要用丙酮？
已经有6人回复
-
安徽农业大学生科院生物制药系课题组招收2026级博士生（申请考核制）
已经有0人回复
-
博士招生-哈尔滨工业大学（深圳）理学院-有机化学-药物化学-材料-高分子-生物-医学
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 谁知道磁控溅射有哪些型号的设备？
已经有13人回复
- 磁控溅射能做出金属镁薄膜吗
已经有6人回复
- 磁控溅射可以连续溅射多久，以及氧化铪工艺
已经有12人回复
- 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
已经有13人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 磁控溅射台真空度问题
已经有11人回复
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 磁控溅射高真空抽不下去
已经有12人回复
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 直流磁控溅射的仪器大概要多少钱呀
已经有4人回复
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 【学术交流】 磁控溅射——应用领域交流
已经有16人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 磁控溅射出问题了大虾们帮帮忙
已经有6人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
7楼2014-05-23 13:21:52
lelelbom
铁杆木虫 (著名写手)
- TEPI: 5
- 应助: 215 (大学生)
- 贵宾: 0.088
- 金币: 6466.3
- 散金: 785
- 红花: 25
- 帖子: 1300
- 在线: 234.3小时
- 虫号: 208258
- 注册: 2006-03-05
- 性别: GG
- 专业: 聚合物共混与复合材料
2楼2013-11-13 08:27:35
sjzlhkj1
铜虫 (小有名气)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 1427.1
- 散金: 10
- 红花: 1
- 帖子: 284
- 在线: 99.3小时
- 虫号: 1277069
- 注册: 2011-04-25
- 性别: GG
- 专业: 有机合成
3楼2013-11-13 15:08:06
hyss1992
金虫 (小有名气)
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 1428.7
- 红花: 7
- 帖子: 252
- 在线: 108.9小时
- 虫号: 2648143
- 注册: 2013-09-11
- 性别: GG
- 专业: 光学
我感觉是真空条件改变导致辉光放电发生改变了吧，溅射时等离子体中电子能量很高，可能真空度改变后，能量放出来变成了热 4楼2013-11-13 20:24:37