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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射设备在溅射时压缩空气突然停止导致的故障
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handy404

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射设备在溅射时压缩空气突然停止导致的故障 已有2人参与

我在溅射铜时压缩空气突然停止，但是设备没有报警，后来发现真空增加到几百帕才停止了设备。后来设备真空抽不下去，出现了漏气。拆开阴极后发现靶材的压条已经融化粘接在了一起，阴极靶的密封橡皮圈已经被烧焦了，所以导致了漏气。请问，为什么压缩空气停止后会产生如此高温，导致不锈钢的压条都融化了？是不是出现弧光放电？腔室中弧光放电产生的条件是什么？
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1楼 2013-11-13 00:19:47
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gaowei701

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助，常来工艺技术版 2014-07-18 07:17:26
1、压缩空气是作为工艺气体？2、铜靶没有冷却装置么？
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7楼2014-05-23 13:21:52
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lelelbom

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
handy404(scu2020代发): 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2013-11-13 15:14:21
我觉得，是不是压力降低，造成铜或其他沉淀堆积，引起电机之间短路，就像电焊一样融化
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2楼2013-11-13 08:27:35
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sjzlhkj1

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
handy404(scu2020代发): 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2013-11-13 15:14:27
你那个融化的部件附近有没有保险丝之类的设备，设备出现故障，不能及时断电，就发烫了
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深潭鱼可钓，幽谷鸟可罗
3楼2013-11-13 15:08:06
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hyss1992

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
handy404(tyhjqxbz代发): 金币+1, 感谢交流，常来工艺技术版 2013-11-26 08:32:40
我感觉是真空条件改变导致辉光放电发生改变了吧，溅射时等离子体中电子能量很高，可能真空度改变后，能量放出来变成了热
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Stayhungry,stayfoolish.
4楼2013-11-13 20:24:37
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