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磁控溅射设备在溅射时压缩空气突然停止导致的故障 已有2人参与
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| 我在溅射铜时压缩空气突然停止，但是设备没有报警，后来发现真空增加到几百帕才停止了设备。后来设备真空抽不下去，出现了漏气。拆开阴极后发现靶材的压条已经融化粘接在了一起，阴极靶的密封橡皮圈已经被烧焦了，所以导致了漏气。请问，为什么压缩空气停止后会产生如此高温，导致不锈钢的压条都融化了？是不是出现弧光放电？腔室中弧光放电产生的条件是什么？ |
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sjzlhkj1
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3楼2013-11-13 15:08:06
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hyss1992
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我感觉是真空条件改变导致辉光放电发生改变了吧，溅射时等离子体中电子能量很高，可能真空度改变后，能量放出来变成了热 4楼2013-11-13 20:24:37
5楼2013-11-25 22:20:14