[交流] 谁知道磁控溅射有哪些型号的设备？已有6人参与

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1楼2013-10-29 10:11:47

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cstt2007

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我用的是JPG450，这只是沈科仪的一种型号，上官网可以查查他们产的所有型号

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2楼2013-10-29 14:49:08

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太多了，楼主要做什么？

3楼2013-10-29 19:35:02

李天帮

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沈科仪，他家的设备至少经验上还不错。
但是买设备这个还是要看你的需求，比如要做多大的片子，单片还是多片，打算溅射什么材料，预算是什么水平的。
比如沈科仪做中型设备还可以，大型设备南光比较有经验（尽管他们做蒸发的多），小设备推荐中科院微电子所八室。如果需要和进口设备类似水平的设备，那个可以给你找牛人定做，国内很多牛所都有他的设备，单子做不过

事虽难，做则成；路虽远，行则至。

4楼2013-10-29 22:24:42

wbcui

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4楼: Originally posted by 李天帮 at 2013-10-29 23:24:42
沈科仪，他家的设备至少经验上还不错。
但是买设备这个还是要看你的需求，比如要做多大的片子，单片还是多片，打算溅射什么材料，预算是什么水平的。
比如沈科仪做中型设备还可以，大型设备南光比较有经验（尽管他 ...

哪个牛人啊？

5楼2013-10-30 00:18:43

hmb129906006

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2楼: Originally posted by cstt2007 at 2013-10-29 14:49:08
我用的是JPG450，这只是沈科仪的一种型号，上官网可以查查他们产的所有型号

非常感谢!我们也是这个~实验马上要起步，我想知道磁控溅射的参数~

6楼2013-11-03 09:27:04

cstt2007

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6楼: Originally posted by hmb129906006 at 2013-11-03 09:27:04
非常感谢!我们也是这个~实验马上要起步，我想知道磁控溅射的参数~...

你是做什么的啊，我做合金薄膜，我一般气流量选30scmm，起辉压强在1pa，溅射气压在0.5pa，攻略100w，靶基距10cm

7楼2013-11-03 23:26:42

hmb129906006

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7楼: Originally posted by cstt2007 at 2013-11-03 23:26:42
你是做什么的啊，我做合金薄膜，我一般气流量选30scmm，起辉压强在1pa，溅射气压在0.5pa，攻略100w，靶基距10cm...

我是在玻璃上磁控溅射镀铜铟镓硒薄膜，想做薄膜太阳能电池。你这些参数怎么定的？

8楼2013-11-04 10:19:58

hmb129906006

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4楼: Originally posted by 李天帮 at 2013-10-29 22:24:42
沈科仪，他家的设备至少经验上还不错。
但是买设备这个还是要看你的需求，比如要做多大的片子，单片还是多片，打算溅射什么材料，预算是什么水平的。
比如沈科仪做中型设备还可以，大型设备南光比较有经验（尽管他 ...

恩恩，非常感谢~想知道实验参数，不是说参数跟设备有关吗~

9楼2013-11-04 10:27:25

hmb129906006

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2楼: Originally posted by cstt2007 at 2013-10-29 14:49:08
我用的是JPG450，这只是沈科仪的一种型号，上官网可以查查他们产的所有型号

对了，你们的是三个靶材可以同时溅射的吗？靶材尺寸是多少？

10楼2013-11-04 10:41:39